装置の紹介[NPF]
【NPF120】マスクレス露光装置（DL-2500iA1）
| 名称 | 【NPF120】マスクレス露光装置（DL-2500iA1） |
|---|---|
| メーカー | Nanosystem Solutions |
| 導入年月日 | 2025-09-22 |
| 仕様 | 型番：DL-2500iA1 試料サイズ：4インチφ、100ｍｍ□ 光源：365nm(LED） 最小線幅：1μｍ（レジスト膜厚1.5μｍ以下の条件） 露光最小画素：□1μｍ 最大露光領域：100mm×100ｍｍ 重ね合わせ精度：3σ＜0.5μｍ 露光速度：ＤＬ－１０００と比較し4倍速に高速化 |
