装置の紹介[NPF]
【NPF118】多機能型光電子分光分析装置(XPS)
| 名称 | 【NPF118】多機能型光電子分光分析装置(XPS) |
|---|---|
| メーカー | ULVAC PHI |
| 導入年月日 | 2025-04-01 |
| 仕様 | 搭載分析機能：XPS(Al kαモノクロ),HAXPES(Cr kαモノクロ), UPS, 走査型オージェ電子分光分析, 低エネルギー逆光電子分光, 反射電子エネルギー損失分光他 最大試料サイズ：80 mm×80 mm, 高さ12 mm 試料加熱冷却範囲：-100 ～ 500℃ |
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