装置の紹介[NPF]
【NPF122】イオンコーター３
| 名称 | 【NPF122】イオンコーター３ |
|---|---|
| メーカー | 日立ハイテクノロジーズ |
| 導入年月日 | |
| 仕様 | 走査電子顕微鏡観察において、導電性の悪い試料を観察する際の帯電障害(チャージアップ)を防止するために、Ptコーティングをするための装置です。2F実験室に設置。 ・試料サイズ：最大55ｍｍφ、高さ20ｍｍ ・放電方式：ダイオード放電マグネトロン形(電場・磁場直交形) ・電極形状：対向平行円板(マグネット埋込み) ・電圧：DC 0.4 kV ・電流：DC 0～35ｍA（リミット回路付き） ・コーティングレート：Pt 6.5nm/min |
