装置の紹介[NPF]

【NPF011】i線露光装置

名称	【NPF011】i線露光装置
メーカー	ニコンテック
導入年月日
仕様	この装置は、最大開口数(N.A.)0.63の投影レンズを搭載し、解像度350 nm以下に対応したi線縮小投影型露光装置です。照明アパーチャはコンベンショナルタイプの他に、限界解像度と焦点深度を向上させる変形照明(輪帯照明、四重極)も選択できます。投影レンズはN.A.可変システムを採用しており、0.50～0.63の間で最適なN.A.を選択することが可能です。そのほか特殊ステージを備えており2インチ～8インチウェハーおよび20mm□、18mm□、15mm□、10mm□のクーポンチップの露光が可能です。また、透明基板のセットも可能です。・形式　　：NSR-2205i12D ・試料サイズ：2インチφ, 3インチφ, 4インチφ, 6インチφ, 8インチφ（全てOFのみ可）　　　　　　　20mm, 18mm, 15mm, 10mm□クーポン（厚200～750μm程度まで）・露光光源：i線（波長365nm）・解像度　：350nm以下・最大N.A.：0.63 ・縮小倍率：5分の1倍・露光範囲：22mm▢（ウェハー上）・レチクル：6インチ石英ガラス（6025）・総合アライメント精度：55nm以下主な薬液類・レジスト：住友化学 PFI-38A7, 住友化学 PFI-89B4, 日本化薬LORシリーズ・現像液　：多摩化学 TMAH 2.38%