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ナノプロセシング施設の紹介

施設概要

 進歩の速いナノテクノロジーでは、如何に迅速に新材料・デバイスの試作品を作製、動作を解析し、その結果を次の研究開発に結び付けるかが研究開発の成否を分けます。ナノプロセシング施設(Nano-Processing Facility:NPF)では、装置の提供及び技術指導等を通じて皆様のアイディアを迅速に結果に結びつけることを目的に様々な支援活動を実施しております。

 特に、ナノエレクトロニクス、ナノマテリアル、N&MEMS、フォトニクス、バイオ、環境エネルギー等の研究開発の推進に必要不可欠な、超微細加工、実装、計測・評価、デバイス試作のための先端機器を、産学官の研究者及び技術者に提供しております。

 専門家による技術相談、技術支援等のサービス(下記参照)を提供するとともに、若手研究者や高度技術者の育成も実施しております。また、定形外の小片から定形の3 〜 6インチ基板(一部装置は8インチにも対応)までの各種材料の微細加工を行う装置群も整備しており、トレーニングをはじめとする手厚いサービスを提供しております。

提供サービス

  1. 利用前相談

 利用者の目的を達成するために、どのようにNPFの装置を利用し問題を解決するのが最適か研究者及びスタッフが共に考えます。

  1. 機器利用

 先端機器を利用者ご自身にご利用頂くサービスです。ネット上の予約システム(右ページ参照)により、ご都合の良い時間を選んでご予約頂くことが可能です。機器の操作方法についてはトレーニングを行っておりますので、初めての方も安心してご利用いただくことができます。

  1. 技術指導(ナノテクノロジープラットフォームの技術補助に相当)

 装置の使用方法等について専門家が技術指導を行います。

  1. 技術代行

 技術的に高度で習熟に時間がかかる機器を利用する場合等は、NPFのスタッフが装置の操作を代行致します。

 

詳細につきましては下記のパンフレットをご参照ください。

https://unit.aist.go.jp/tia-co/orp/NPF_pamphlet.pdf

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