本装置は、大電流かつ狭ピッチの描画に対応し、【NPF093】高速電子ビーム描画装置(エリオニクス)よりもさらに高速な処理が可能です。当面、お試し料金として、機器利用の単価を半額とします。この機会にぜひご利用をご検討ください。
※支援形態「機器利用」の場合のみ対象とします。※単価表の記載は変更ありません。利用料のご請求時に調整します。