【ARIMセミナー2月25日開催】電子線・光リソグラフィ技術

ARIMでは、「2025年度第2回ARIM量子・電子マテリアル領域セミナー電子線・光リソグラフィ技術」と題して、2026年2月25日に産業技術総合研究所にて技術セミナーをハイブリッドで開催致します。

マスクレスリソグラフィ技術の解説に加え、フォトマスクを用いてナノメートルスケール描画を実現するリソグラフィ技術、各機関の共用施設のリソグラフィに関わる事例等を紹介いたします。