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マテリアル先端リサーチインフラ(ARIM)
お知らせ
- 2025年10月27日
- ARIM構造化データ共用サービス、本格始動New!
- 2025年9月17日
- 【ARIM東京大学セミナー2025/10/9開催】ドライエッチングセミナー
- 2025年9月3日
- NIMS-ARIMセミナー2025/10/20開催
- 2025年7月15日
- 【NPF115】大面積電子ビーム描画装置[BODEN50] お試し料金のお知らせ
- 2025年6月3日
- データ登録約款・データ登録要項の一部改正
施設運転情報
- メンテナンス2025年10月24日
- 純水装置メンテナンスのため断水【11/14 9:00～】
- 利用停止2025年10月7日
- 【NPF082】化合物エッチング装置 利用停止
- 利用停止2025年10月20日
- 【NPF019】多目的エッチング装置 利用停止のお知らせ
- メンテナンス2025年10月8日
- 【NPF085】2ndインピーダンスチューブつまり解消のため液体ヘリウムを枯らします。
