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マテリアル先端リサーチインフラ(ARIM)
お知らせ
- 2024年2月19日
- ナノプロセシング施設 令和６年度課題登録開始について
- 2023年12月25日
- 【NPFセミナー 2024/2/28開催】電子ビーム露光技術～ 進化する電子ビーム露光装置 ～
- 2023年3月3日
- NPFユーザーミーティング（2023/03/14開催）
- 2023年3月6日
- ナノプロセシング施設 令和5年度課題登録開始について
施設運転情報
- お知らせ2024年4月4日
- ゴールデンウィーク期間のNPF休業について【10連休】
- 利用停止2024年4月24日
- 【NPF088】電界放出形走査電子顕微鏡[S4500_FE-SEM](2F)の廃棄作業に伴う周辺装置の一時利用停止 ⇒ 運搬・搬出New!
- 利用再開2024年4月24日
- 【NPF070】XRD装置利用再開New!
- メンテナンス2024年4月19日
- 純水装置メンテナンスのため断水【5/14 9:00～13:00】
- 利用停止2024年4月15日
- 【NPF104】原子層堆積装置_4[FlexAL] 利用停止 当面の間
- 利用停止2024年4月2日
- 装置廃棄：【NPF088】電界放出形走査電子顕微鏡[S4500_FE-SEM] (2F)
- 利用停止2024年4月2日
- 【NPF068】MPMS EverCool再凝縮装置再生に伴う利用停止。
- お知らせ2024年1月30日
- 【NPF029】メッキ装置 トレーニング受付一時停止（4月まで）
